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Heidelberg Instruments GmbH
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Heidelberg Instruments ist auf fünf Kontinenten im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie in Industrie und Wissenschaft vertreten.

Unsere Lithographiesysteme können aufgrund ihrer besonderen Beschaffenheit und ihrer ausgesprochenen Vielseitigkeit für die unterschiedlichsten Anwendungen genutzt werden. So werden sie zum Beispiel in der Forschung zur Herstellung von Mikrostrukturen auf unterschiedlichen Materialien verwendet oder dienen der industriellen Produktion im Bereich der Mikroelektronik und Bildschirmherstellung.

Bei der Produktion von Flachbildschirmen oder bei der Herstellung von Strukturen für das elektronische Packaging werden Substrate mit einer Kantenlänge von bis zu 2,5 Metern verarbeitet. Für diese Anwendung wurden spezielle Technologien entwickelt, um den hohen Anforderungen der Industrie an Geschwindigkeit und Reproduziergenauigkeit gerecht zu werden. Die Herausforderungen lagen dabei in der Positionsmessung und -kontrolle in Verbindung mit einem schnellen und präzisen optischen Belichtungssystem.

Heidelberg Instruments Lithographiesysteme werden weltweit an den besten Universitäten und Forschungseinrichtungen eingesetzt. Die Fähigkeit Mikrostrukturen selbständig schnell herzustellen und gegebenenfalls Änderungen am Design rasch zu implementieren helfen Forschungsprojekte zu beschleunigen.

Auch die Herstellung von mikrooptischen Komponenten ist mit unseren Systemen möglich. Eine Besonderheit stellen hierbei die Systeme dar, die auf gekrümmten Oberflächen belichten können, wodurch sich makroskopische und mikroskopische optische Elemente kombinieren lassen. Ein solches System wurde zusammen mit dem Fraunhofer Institut in Jena entwickelt und wird seither sehr erfolgreich zur Herstellung von hochspezialisierten optischen Komponenten eingesetzt.

Gerne stellen wir uns weiterhin neuen Herausforderungen und oft gelingt es durch technische Innovationen unserer Systemen neue Anwendungsbereiche in der Mikrotechnologie zu erschließen.