Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

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Produkt Informationen / Datenblätter

Hier können Sie die Datenblätter unserer Lithographiesysteme herunterladen:

Type	File Name	File Size
	Datenblatt µPG 101	1.2 MB
	Datenblatt DWL 2000	1.4 MB
	Datenblatt DWL 66 FS	1.3 MB
	Datenblatt DWL 4000	1.3 MB
	Datenblatt DWL 8000	1.3 MB
	Datenblatt VPG 1600	1.3 MB

Publikationen

Hier können Sie wissenschaftliche Veröffentlichungen herunterladen, die in Verbindung mit Heidelberg Instruments Lithographiesystemen stehen. Zusätzliche Links zu Veröffentlichungen finden Sie hier:

Type	File Name / Description	File Size
	Electromagnetic materials – availability and spectral coverage of a new class of micro/ nanofabricated composite materials	260 KB
	Industrial applications of micro/ nanofabrication at Singapore Synchrotron Light Source	330 KB
	Integrated free-space optical interconnect fabricated in planar optics using chirped microlens arrays	1.0 MB
	Laser Direct Write Grayscale Photolithography	200 KB
	Laser-Lithographie für Mikrooptik auf gekrümmten Oberflächen	220 KB
	Laser-lithography on non-planar surfaces	670 KB
	Micro- and Nano-Fabrication of Electromagnetic Metamaterials for the Terahertz Range	520 KB
	Microfluidics for lab-on-a-chip applications	1.8 MB
	Micromirror for Laser-Beam Scanning for Robotics and Other Applications	1.5 MB
	Precise temperature control in microfluidic devices using Joule heating of ionic liquids	230 KB
	Selective etching of chalcogenides and its application for fabrication of diffractive optical elements	180 KB
	Three-Dimensional Modeling of Mechanical Forces in the Extracellular Matrix during Epithelial Lumen Formation	570 KB
	Thick-film lithography using laser write	2.5 MB

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